Teorik vakum ve nihai vakum genellikle vakum, küçük hava pompası, minyatür gaz örnekleme pompası, minyatür gaz sirkülasyon pompası, vb gibi endüstriyel vakum ekipmanları alanında kullanılan benzer kavramlardır. teorik vakum olarak adlandırılan, en yüksek vakum olan 0 değeri, sadece teorik bir durum olan ve pratikte elde edilemeyen, durumun (molekül, atom, vb. dahil) hiçbir önemi olmadığı anlamına gelir.
Basınç değeri ne kadar düşükse, yani vakum derecesi ne kadar yüksekse, teorik vakum ve nihai vakum daha yakındır ve pompanın vakum performansı o kadar iyidir. Bununla birlikte, malzeme ömrü, sızdırmazlık koşulları, parçaların işleme hassasiyeti ve buna benzer gereklilikler de büyük ölçüde iyileştirilmiştir.
Enstrüman ve sayaç endüstrisinin ve insanların çevre koruma gereksinimlerinin geliştirilmesi ile, nispeten düşük fiyat, yağ veya kirlilik, düşük güç tüketimi ve kompakt boyut ile minyatür vakum pompaları için artan bir talep var.